장비사용신청
아크플라즈마 성막장치(Arc plasma deposition)
용도구분 | 공정용 (증착 공정) |
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제조사 | ULVAC-RICO, Inc. |
모델명 | |
관련사이트 | http://www.ulvac.co.jp |
담당자 | 박경태 |
담당자 연락처 | 032-226-1351 |
사용료(부가세별도) | 890,000/시료 |
상태정보 | 사용가능 |
◈ 용도
• 분말코팅(분말을 장입하고 분말을 균일하게 교반이 가능하게 하는 장치)용 시스템
• 순금속, 합금, 복합구조 및 다층구조 나노분말 합성 제조
◈ 주요사양
• 7타겟 증착원
• 교반 욕기저면 중심에의 수직 각도
• 헤드 전류 : 3500Ap(최대)