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장비사용신청

아크플라즈마 성막장치(Arc plasma deposition)

장비정보
용도구분 공정용 (증착 공정)
제조사 ULVAC-RICO, Inc.
모델명
관련사이트 http://www.ulvac.co.jp
담당자 박경태
담당자 연락처 032-226-1351
사용료(부가세별도) 890,000/시료
상태정보 사용가능

◈ 용도
 • 분말코팅(분말을 장입하고 분말을 균일하게 교반이 가능하게 하는 장치)용 시스템
 • 순금속, 합금, 복합구조 및 다층구조 나노분말 합성 제조


◈ 주요사양
 • 7타겟 증착원

 • 교반 욕기저면 중심에의 수직 각도

 • 헤드 전류 : 3500Ap(최대)