장비사용신청
글로우방전질량분석기(GD-MS)
| 용도구분 | 분석용 (화학적 특성) |
|---|---|
| 제조사 | MSI |
| 모델명 | ULTIMA GD RFA |
| 관련사이트 | |
| 담당자 | 한슬기 |
| 담당자 연락처 | 032-226-1345 |
| 사용료(부가세별도) | 400,000/시료 |
| 상태정보 | 사용가능 |
* 구성 및 성능
1. Ar flow : 1 ml/min
2. Discharge voltage : 1 ~ 3000V
3. Discharge current : 0.1 ~ 10mA
4. RF Source : 13.56 MHz RF frequency, 200 W max
5. Switched between RF and DC
6. Mass range : >300 amu at 8kV
7. Scan speed : 0.1 ~ 1000 sec/decade.
8. Resolution : 20000 max
* 사용 예
1. 부도체, 반도체, 도체의 고체 및 분체시료를 화학적 전처리 없이 직접 분석
2. 산화물 직접분석
3. 다층 박막의 깊이분포 분석
4. 정성, 정량분석
5. 다원소 동시분석
6. 정량분석범위 : ppt~%