ㅁ 구성 및 성능

1) VACUUM CHAMBER
     MAIN CHAMBER는 STAINLESS STEEL 원형 챔버로 하부 도어 열림 방식으로 ARC GUN은 CHAMBER 내부에 설치되고 하부 챔버에 수냉식의 HEARTH가 부착되어 UP,DOWN 방식으로 탈부착 한다.
     감시가 필요한 부분에 투시창이 설치되어 작업 중 내부를 관측할 수 있어야 하고 ARC 열에 의한 손상이 없어야 한다.

 ① 형  태 : 원형수직형 상하부 이중챔버
 ② SIZE(mm) : Ø800 X 높이 H-1200(협의 후 변경가능)
 ③ 재  질 : SUS304
 ④ VIEW PORT 전면 설치
 ⑤ E-BEAM 부착 PORT
 ⑥ POWER FEEDTHROUGH PORT
      ⑦ COLD CRUCIBLE HEARTH ELEVATION PORT
      ⑧ 재료공급 피딩 장치 부착 포트
      ⑨ VACUUM PUMPING PORT
    
    2) 진공 배기장치
      ROTARY PUMP, 진공 VALVE를 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 설계하고,
      ROTARY PUMP 동작 후 진공도는 10-2 Torr 이상일 것(15분 이내)

 ① OIL ROTARY PUMP
  ⑴ 펌핑스피드 : 1000 L/min
  ⑵ 도달진공도 : 5X10-3Torr(펌프자체성능)
  ⑶ 220V, 3P, 60HZ
  ⑷MAKER : KODIVAC
 ② VALVE
  ⑴ MAIN VALVE       10-INCH (PNEUMATIC)
  ⑵ ROUGHING VALVE  2-INCH (PNEUMATIC)
  ⑶ MAKER : YEIN-TECH
 ③ DIFFUSION PUMP
  ⑴ 2000 L/SEC
  ⑵ WATER COOLING TYPE
  ⑶ CONTROLLER UNIT-GAUGE 포함
  ⑷ MAKER : KODIVAC
 ④ 흄,분진 제거용 헤파필터

    3) 정량토출피더          
 ① 정량 조절 콘트롤러
 ② 진동자 정진폭 센서 부착
 ③ 경사 Chute 부착
 ④ 방진 패드 부착
 ⑤ 입력전원 : 220V 3P

4) MIAN FRAME
 ① 용접식 철구조물
 ② SIZE : 2500*2500*2500H
 ③ 재질 : H 형강 및 각 구조관 등
 ④ 2층 연결용 계단 : 체크플레이트 적용
 ⑤ 후처리 : 페인트

5) MAIN CONTROL PANEL (MANUAL TYPE)
 ① VACUUM CONTROL : MANUAL TYPE
 ② GAS VALVE ON,OFF SWITCH
 ④ HEARTH ELEVATION CONTROL
   ⑴ 형  식 : MANUAL SWITCH ON,OFF UP,DOWN (LIMIT-OFF)
 ⑤ INTER LOCK SYSTEM
   ⑴ 이상 동작시 장비의 일시 정지 및 복귀가 가능하게 설계
   ⑵ 냉각수 압력저하표시 (램프 켜짐, 부저 울림)
   ⑶ 압축공기 압력부족 (램프 켜짐 부저울림)
 ⑥ VACUUM GAUGE
   ⑴ 형 식 : Vacuum Gauge
   ⑵ 측정범위 : 103Torr~10-3Torr
 ⑦ E-BEAM CONTROL
   ⑴ 토글스위치 ON,OFF
   ⑵ MANUAL SWITCH ON,OFF UP,DOWN
   ⑶ 전자총 필라멘트 전압 컨트롤
   ⑷ 전압 전류 메터
  ⑧ 가스 유량 제어 장치

   6) E-BEAM SOURCE
      ① 입력전압 : 3상 380V
      ② OUT VOLTAGE : 100~30000V
      ③ OUT CURRENT : 2A
      ④ 빔 스팟 직경 : 10-25mm

ㅁ 장비설명

ㅇ 전자를 집속하여(Concentration) 한 빔에 의해 열을 발생시켜 고온의 금속 정제가 가능한 장비임.
ㅇ 보통의 진공 용해법 보다 초고온의 금속을 용해하여 얻기에 적합함.