◈ 용도
• semiconductors, electronic devices등의 resistance 및 leakage current, threshold voltage, schottky & ohmic contact등 특성분석

• 반도체 화합물의 동작 전압/전류, 누설기생전류, Break down전압측정, 전도도 및 저항측정, capacitor, transistor특성 파악

 

◈ 사양
• 전압측정

- 범위 : ±200㎷/ ±2V ±20V/ ±200V

- 분해능 : 1㎶ at 200㎷ range

- 정밀도 : 0.02%

- 안정화 시간 : less then 100㎲ to 0.1%

- 입력 임피던스 : 〉 10 Gohm

• 전류측정

- 범위 : ±1㎀ to ±100㎃

- 분해능 : 100 aA at 1 ㎀ range

• 정전용량측정

- 범위 : 10㎑ to 10㎒

- 분해능 : 10㎑